成人性生交大片免费看好_黄污网站在线_无码人妻出轨黑人中文字幕_国产一区二区免费在线观看视频_国产一区不卡在线_中文字幕久久精品亚洲乱码

您現(xiàn)在所在位置:網(wǎng)站首頁 >> 技術(shù)資訊

關(guān)于我們

產(chǎn)品展示

新聞中心

應(yīng)用領(lǐng)域

技術(shù)資訊

聯(lián)系方式

干法刻蝕與濕法刻蝕


作者:網(wǎng)站管理員 來源:本站原創(chuàng) 日期:2022/12/24 16:47:04 點(diǎn)擊:2945 屬于:技術(shù)資訊
干法刻蝕與濕法刻蝕
       在半導(dǎo)體制造中,對(duì)基板或基板上形成的薄膜進(jìn)行加工的工序被稱為刻蝕。因特爾創(chuàng)始人戈登·摩爾在1965年提出的“晶體管數(shù)量的集成密度每1.5~2年就會(huì)翻倍”的預(yù)測(俗稱摩爾定律),刻蝕技術(shù)的進(jìn)步對(duì)摩爾定律的實(shí)現(xiàn)起著重要作用。
       刻蝕不同于鍍膜這種“加法”加工,而是“減法”加工。其加工方法大致可分為兩種:濕法刻蝕和干法刻蝕。簡單來說,濕法就是靠溶解來加工,干法則是靠挖掘來加工。
       接下來我們來簡單說明一下濕法刻蝕與干法刻蝕各自的技術(shù)特點(diǎn)與差異,以及各自所適合的用途。

刻蝕工藝的概述

       刻蝕技術(shù)的誕生源自于15世紀(jì)中葉的歐洲。當(dāng)時(shí),人們將酸倒入刻有花紋的銅板上,讓其沿著紋路腐蝕銅來制作凹版。這種利用腐蝕原理來進(jìn)行表面加工的技術(shù)被統(tǒng)稱為“etching刻蝕”。
       半導(dǎo)體制造工序中的刻蝕,是為了在基板或基板上的薄膜刻成圖紙規(guī)定的紋路。鍍膜工藝和光刻工藝,再加上刻蝕工藝,多次重復(fù)就可將平面加工成立體式的結(jié)構(gòu)。

濕法刻蝕與干法刻蝕的不同

       濕法刻蝕,是用溶液腐蝕表面來進(jìn)行刻蝕。這種方法的優(yōu)點(diǎn)是加工成本低廉、速度快,缺點(diǎn)就是加工精度略低。于是1970年前后便催生出了干法刻蝕。干法刻蝕不使用溶液,而是通過氣體沖擊基板表面來進(jìn)行刻蝕,特點(diǎn)就是加工精度高。

等向性與異向性

       所謂等向性,就是物質(zhì)或空間的物理性質(zhì)各個(gè)方向相同,異向性就是物質(zhì)或空間的物理性質(zhì)因方向而不同。
       刻蝕手法中,“以某個(gè)點(diǎn)為中心進(jìn)行同等程度的刻蝕”就是等向性刻蝕,“以某個(gè)點(diǎn)為中心,根據(jù)不同方向進(jìn)行不同程度的刻蝕”則是異向性刻蝕。比如半導(dǎo)體工序的刻蝕中,為了朝指定方向刻蝕同時(shí)保留其他方向的部分,多采用異向性刻蝕。

(等向性刻蝕與異向性刻蝕示意圖)

使用藥液的濕法刻蝕

       濕法刻蝕利用的是藥液與基板的化學(xué)反應(yīng)。這種方法雖說也不是不能進(jìn)行異向性刻蝕,但與等向性刻蝕相比其難度要高出一個(gè)水平。除了對(duì)溶液和材料的組合搭配有諸多限制,基板溫度、溶液濃度、添加物的多少等條件也需要嚴(yán)格控制。
       無論將條件控制得有多細(xì)微,濕法刻蝕也很進(jìn)行1μm以下的細(xì)微加工。原因之一就是必須要對(duì)側(cè)面刻蝕進(jìn)行把控。
       濕法刻蝕時(shí),即便只希望溶解材料的垂直方向(深度方向),也很難避免溶液碰到側(cè)面,結(jié)果就是材料的各個(gè)方向都開始溶解。由于會(huì)出現(xiàn)這種現(xiàn)象,濕法刻蝕中有幾率會(huì)出現(xiàn)比預(yù)期寬度更小的部位,這樣一來,就很難去加工那些需要精密控制電流的產(chǎn)品了。


(濕法刻蝕中可能出現(xiàn)的失敗情況)

干法刻蝕適用于精細(xì)加工的原因

       在半導(dǎo)體制造這種高精度加工中,適合異向性刻蝕的干法刻蝕得到了應(yīng)用。這里的干法刻蝕多指反應(yīng)離子刻蝕(RIE),廣義上等離子刻蝕和濺射刻蝕也算在干法刻蝕里,不過本文中主要以RIE為主來說明。
       那么,為什么干法刻蝕就可以較容易地做到異向性刻蝕呢?為了解釋這一點(diǎn),我們來具體看一下RIE的過程吧。利用干法刻蝕來腐蝕基板的過程,可以簡單地分為“化學(xué)刻蝕”和“物理刻蝕”。
       化學(xué)刻蝕分3個(gè)步驟進(jìn)行。首先,反應(yīng)氣體吸附于表面。接著,反應(yīng)氣體與基板材料形成反應(yīng)生成物,最后,反應(yīng)生成物脫離。
       接下來物理刻蝕是對(duì)著基板吹垂直方向的氬氣,以此來進(jìn)行垂直向下的刻蝕。
       化學(xué)刻蝕是等向性發(fā)生的,而物理刻蝕則可以通過控制氣體的方向來實(shí)現(xiàn)異向性。正因?yàn)檫@種物理刻蝕,干法刻蝕才會(huì)比濕法刻蝕更能把控方向性。
       干法刻蝕也跟濕法刻蝕同樣要求嚴(yán)密的條件,不過比起濕法刻蝕更易管理。因此,工業(yè)生產(chǎn)中干法刻蝕無疑更加有利。

至今仍需要濕法刻蝕的原因

       既然干法刻蝕看起來如此萬能,為什么當(dāng)今世上依舊存在著濕法刻蝕呢?其實(shí)原因很簡單,就是因?yàn)闈穹涛g生產(chǎn)起來成本更低。
       干法刻蝕與濕法刻蝕最大的不同就是成本。濕法刻蝕使用的藥液價(jià)格并沒有那么高昂,設(shè)備本身的價(jià)格也比干法刻蝕設(shè)備便宜很多。另外,濕法的加工所需時(shí)間短,可以同時(shí)處理多個(gè)基板,所以生產(chǎn)成本也可以控制的比較低。其結(jié)果就是,產(chǎn)品成本更低,和其他競爭對(duì)手相比就有了優(yōu)勢。如果不追求很高的加工精度的話,很多量產(chǎn)型企業(yè)多選擇濕法刻蝕。

根據(jù)成本與精度來區(qū)分使用的兩種刻蝕工藝

       雖然濕法刻蝕與干法刻蝕有很大區(qū)別,但是也并不能說誰優(yōu)誰劣,根據(jù)對(duì)成本、精密度的重視程度不同選擇不同的生產(chǎn)工藝才是最理想的方法。

010-56380018
主站蜘蛛池模板: 史上最强炼体老祖动漫在线观看 | 丁香婷婷激情综合俺也去 | 成人免费一级伦理片在线播放 | 亚洲色偷偷av男人的天堂 | 婷婷色婷婷开心五月四房播播 | 亚洲AV日韩AV无码A一区 | 日日摸夜夜爽无码毛片精选 | 免费的一级片 | 欧美做视频 | 亚洲色大成网站www 蜜桃av一区 | 国产又爽又猛又粗的A片 | 国产精品18高潮视频 | 午夜区二区三区不卡顿91 | 久久艹免费视频 | 77777_亚洲午夜久久多人 | 国产精品美女久久久另类人妖 | 国产特级毛片AAAAAA高清 | 国产精品人妻熟女毛片av久久 | 91久久99久91天天拍拍 | 欧美a级黄色 | 天天操天天骑 | 少妇人体色www网站 日韩精品一区二区三区swag | 99热在线精品国产观看 | 99久久精品无码一区二区毛片免费 | va视频在线 | 亚洲AV无码不卡在线播放 | 国产A级毛片色咪味 | 免费观看一级大片 | 成人免费看片网 | 国产性爱自拍av | 久久久久国产一级毛片高清片 | 色乱码一区二区三区麻豆 | 久久精品国产99久久99久久久 | 国产真实愉拍系列在线视频 | 国产高跟丝袜脚交视频 | 一级a性色生活片久久毛片 四虎中文 | 亚洲免费视频免在线观看 | 菠萝蜜在线免费观看 | 台湾av一区二区三区 | 麻豆传媒国产 | 国产免费www |